由于镀膜室为承受外压的容器,对于不带冷却水套的镀膜室,其内外压差的大值相当于大气压,即受外部压力为员园员猿圆缘 孕葬。从受压力的角度看,真空室以圆形为好;从容积利用率的角度出发,真空室以箱形为宜;根据需要也有设计成其他各种形状的,如球形、长圆形、圆锥形等。想了解更多离子真空镀膜机|金属表面镀膜机|真空镀膜机设备请联系佛山市佛欣真空设备有限公司
在磁控溅射镀膜机中,pvd离子镀膜机,较重要的部件是阴极溅射靶,它是溅射镀膜机的“心脏”。阴极靶的特性直接与溅射工艺的稳定性和膜层的特性相关,与靶材的利用率及镀膜成本相关,镀膜机,因此提高溅射靶的设计水平,提高镀膜产品的性能价格比,镀膜机,增加溅射稳定性成为工业镀膜生产中的关键问题。想了解更多离子真空镀膜机|金属表面镀膜机|真空镀膜机设备请联系佛山市佛欣真空设备有限公司
矩形平面磁控溅射靶的磁路系统主要由内磁条、外磁环及轭铁组成,如图员圆鄄圆 所示。其中内磁条和外磁环的磁荷密度分别为 σ圆 和 σ员,且符号相反。内磁条和外磁环可以分解成若干个单元磁体,图 员圆鄄圆 中外磁环分成源 个单元磁体,内磁条为员 个单元磁体,各自尺寸及其中心与孕点距离如图所示。想了解更多离子真空镀膜机|金属表面镀膜机|真空镀膜机设备请联系佛山市佛欣真空设备有限公司
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