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分子泵真空系统

镀膜机采用分子泵抽气系统不但可以获得十分清洁的真空，安阳溅射磁控镀膜设备，而且有

利于膜质量的提高。分子泵的抽速很大，可以缩短工艺的周期性。例

如，用员圆园园 蕴 辕 泽 的分子泵在直径 缘园园 皂皂的普通高真空镀膜机上进行抽

空时，溅射磁控镀膜设备工厂，从启动机械泵到开动分子泵，溅射磁控镀膜设备价钱，从大气压抽到猿 伊 员园 原源 孕葬，只需要

员愿 皂蚤灶。

典型的涡轮分子泵抽气系统如图苑鄄猿 所示。这种系统和常用的扩散

泵抽气系统类似，抽气系统设置分开的粗抽管道和前级管道。

表明，溅射磁控镀膜设备价格，涡轮分子泵抽速杂员 和前级泵抽速 杂圆 之比 杂员 辕 杂圆 应该

在猿园 耀远园 的范围内，对于对氢压缩比小于缘园园 的分子泵来说，其级

配比应该为圆园颐 员。

涡轮分子泵抽气系统既不需要用粗抽阱也不需要用前级管道冷阱。

粗抽与主抽系统之间较高的切换压力能防止机械泵油通过粗抽管道迁移

到真空室中去，而泵对碳氢化物馏分的高压缩比也阻止它们从前级管道

通过泵反扩散到真空室中去。