在磁控溅射进行时,糟 点区域将成为等离子体汇聚的区域,因此此处的等离子体较多,多弧磁控离子镀膜机,相应的靶材位置的溅射较强烈,多弧磁控离子镀膜设备,溅射率也大。此位置处的靶材会先被刻蚀穿透,刻蚀穿透后的靶材无法再继续使用。想了解更多离子真空镀膜机|金属表面镀膜机|真空镀膜机设备请联系佛山市佛欣真空设备有限公司
同时TiN、TiC、Al2O3等膜层化学性能稳定,在许多介质中具有良好的耐蚀性,可以作为基体材料保护膜。在高温、低温、**高真空、射线辐照等特殊条件下工作的机械部件不能使用润滑油,只能使用软金属或层状物质等固体润滑剂,而采用溅射法制取MoS2膜及聚四氟乙烯膜十分有效。虽然 MoS2膜可用化学反应镀膜法制作,但采用溅射镀膜法得到的 MoS2膜致密性好,巩义多弧磁控离子镀膜,附着性优良。溅射法制备的聚四氟乙烯膜的润滑特性不受环境温度的影响,可长期在大气环境中使用,是一种很有发展前途的固体润滑剂。其使用温度上限为50℃,低于-260℃时才失去润滑性。