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同轴圆柱形磁环溅射靶的磁路系统是由若干个单元永磁环串联而
成，相邻磁环面极性相同，如图员圆鄄远 所示。其磁场可以采用等效电流法
计算，卫辉真空镀膜，也可以采用圆形平面靶的磁场计算法。想了解更多离子真空镀膜机|金属表面镀膜机|真空镀膜机设备请联系佛山市佛欣真空设备有限公司

对于矩形磁控溅射靶来说，由于矩形平面磁控靶不像圆形磁控靶那样具有中心对称的性质，什么是真空镀膜，阴极靶内的永磁体沿着靶长度方向排列成行，形成以中心线为对称轴的两个磁场。这两个磁场在靶的长度方向上的分布比较均匀，但是在靶的宽度方向上是不均匀的（所以单纯从刻蚀均匀性考虑，靶的宽度越小越好），因此膜厚的分布在沿靶宽度和长度两个方向并不相同。想了解更多离子真空镀膜机|金属表面镀膜机|真空镀膜机设备请联系佛山市佛欣真空设备有限公司