在磁控溅射镀膜机中,较重要的部件是阴极溅射靶,它是溅射镀膜机的“心脏”。阴极靶的特性直接与溅射工艺的稳定性和膜层的特性相关,与靶材的利用率及镀膜成本相关,因此提高溅射靶的设计水平,提高镀膜产品的性能价格比,真空镀膜,增加溅射稳定性成为工业镀膜生产中的关键问题。想了解更多离子真空镀膜机|金属表面镀膜机|真空镀膜机设备请联系佛山市佛欣真空设备有限公司
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