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钢是一种良导体，而磁导率的量级较高，河北多弧离子镀膜机，可以获得较为满意的屏蔽

效能。对于真空系统来说，常采用的室体材料为奥氏体不锈钢和铝合

金。导电玻璃的屏蔽效能可以达到 愿园 耀 员园园 凿月，但随频率的升高而下

降。且导电玻璃的屏蔽效能与透光率相互制约，屏蔽效能高的，透光率

较差。射频溅射设备的观察窗的设计应考虑电磁屏蔽（不同于 载 射线的

屏蔽）问题。

善端部效应，也都可以改善膜厚均匀性，河北多弧离子镀膜机工厂，详细内容可见员圆 章。

月摇 矩形靶端部的磁体设计

矩形靶端部磁体的精细设计是溅射均匀性的重要保证。许多磁控靶

源包括两个单一磁较（内外磁较）的磁场系统。磁力线从一较到另一较

闭合。一般情况下其刻蚀区如图员猿鄄员员（葬）所示的弧形或矩形的“回形”

区域。如果矩形靶采用一种较复杂的多磁极磁场系统，则靶端部边缘的

刻蚀形貌可以被控制得更好一些，而且能产生一个更宽阔的跑道形刻蚀

区域（见图员猿鄄员员遭）。与传统的两极磁性系统设计相比，河北多弧离子镀膜机哪家好，它加强了靶边缘

的磁通量（溅射率）的贡献，并且有一个比较低的边缘膜层沉积通量的下

降率，大大提高了靶材利用率和溅射沉积均匀性。