在二较溅射中增加一个平行于靶表面的封闭磁场,借助于靶表面上形成的正交电磁场,把二次电子束缚在靶表面特定区域来增强电离效率,增加离子密度和能量,从而实现高速率溅射的过程。
磁控溅射包括很多种类。各有不同工作原理和应用对象。但有一共同点:利用磁场与电场交互作用,多弧磁控溅射镀膜机供应商,使电子在靶表面附近成螺旋状运行,从而增大电子撞击氩气产生离子的概率。所产生的离子在电场作用下撞向靶面从而溅射出靶材。
真空室的冷却可以采用自然冷却(或风冷),也可以采用水冷。水冷有两种形式,国外磁控溅射镀膜机供应商,一种是将水管螺旋式地焊在真空室外壁,另一种是在真空室外壁加装水冷套,具体形式如图 圆鄄员园 所示。热负荷较小时用水管冷却,有时也可以采用水管和水冷套两种结构形式混合使用。热负荷再小时,邳州溅射镀膜机,可用风冷,磁控溅射镀膜机报价,有时可不用冷却,甚至需要加保温层保温。具体选择哪种冷却方式,应依据设备的具体情况,如设备结构、加热温度、工作真空度、观察方便、修补焊缝*等而定。