根据以上分析,高真空磁控溅射镀膜机厂家,磁场设计应该遵循的原则有:
(1)对于设计不同尺寸、相同比例的磁控靶,江都溅射镀膜机,靶装置的尺寸较大,所选择的永磁体的磁场强度应该相对弱一些,并且如果靶材较昂贵,或者需要**考虑靶材的利用率,靶磁场可以设计得低一些。
(2)如果**考虑增大靶的溅射速率,初始设计的磁场强度应该强一些,但是考虑到电离效率、功率效率、溅射速率等指标不会随着磁场强度的增加而成比例增加,磁场强度可以选择在饱和曲线的起始点处,因为过高的磁场强度会降低靶材的利用率,却没有增加电离效率、功率效率和溅射速率。
随着我国国民经济的发展,真空镀膜设备在工业中的应用越来越广,各领域的不同需求对真空镀膜设备的设计提出了越来越严格的要求。虽然近年来我国真空镀膜设备的设计和制造水平有了长足的进步,磁控溅射镀膜机性能参数,但是总体来说,国内真空镀膜设备的整体设计能力和生产水平不高,在品种和质量上难以参与国际市场的竞争。因此,加强高性能真空镀膜设备的设计开发工作,已是势在必行。