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镀膜时需要充入的气体可分为两类。一类是工作气体，通常使用各种惰性气体，以氩气为主。这是因为氩气不污染真空系统，*得到较高的纯度；氩的电离电位较低，*被激发电离；氩的等离子体稳定，*获得高电离度的等离子区。另一类是反应气体，它与成膜的种类和工艺有关，例如，陈村真空镀膜机，用磁控法镀 栽蚤晕，应充入氮气。

低温泵和分子泵具有高效、快速和清洁无油的特点，二手真空镀膜机价格，因而成为中小型镀膜设备中高真空泵的理想选择。大型真空室一般会有较大的热负载，二手蒸发真空镀膜机，这些热量来源于镀膜工艺中的气体和基片加热的热辐射，磁控溅射真空镀膜机，这会造成低温泵在冷却方面的困难。因而，在大型系统中经常使用低温冷却挡板与扩散泵的传统组合形式，特别是涉及高温加热工艺的时候。