佛山pvd离子镀膜机|佛欣真空|pvd离子镀膜机生产商

在真空溅射镀膜、真空离子镀膜和真空化学气相沉积等镀膜设备上都设有充布气系统。为了得到均匀的膜层，pvd离子镀膜机批发，合理设计充布气系统是非常重要的。通过充布气系统的设计，气体密度的变化率在溅射沉积区域内尽量小，而在区域外，pvd离子镀膜机供应商，系统的流导要尽量的大，以提高抽气系统的效率。

真空室门的开启和关闭可以用手动方式，也可以采用自动方式。门的开、关、夹紧与放松，大塘pvd离子镀膜机，其动力可以是液压、气动或电动。门上夹紧机构的类型有丝杆螺母机构、偏心机构、楔形机构等。图圆鄄怨 给出了一种丝杆的螺母机构简图。夹紧机构应能给密封圈一定的“预压力”。这种“预压力”大小为 园郾 缘 耀 园郾 愿 酝孕葬。如果真空室是钟罩式的（如各种镀膜机）就不需要有夹紧装置，钟罩本身的重量就可以使密封圈得到足够的预压力。抽气后大气压作用在密封圈上，密封就更可靠了。