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真空室的冷却可以采用自然冷却（或风冷），也可以采用水冷。水冷有两种形式，一种是将水管螺旋式地焊在真空室外壁，另一种是在真空室外壁加装水冷套，梅洲不锈钢板材镀膜机，具体形式如图 圆鄄员园 所示。热负荷较小时用水管冷却，不锈钢板材镀膜机厂商，有时也可以采用水管和水冷套两种结构形式混合使用。热负荷再小时，可用风冷，不锈钢板材镀膜机价格，有时可不用冷却，甚至需要加保温层保温。具体选择哪种冷却方式，应依据设备的具体情况，如设备结构、加热温度、工作真空度、观察方便、修补焊缝*等而定。

在真空溅射镀膜、真空离子镀膜和真空化学气相沉积等镀膜设备上都设有充布气系统。为了得到均匀的膜层，合理设计充布气系统是非常重要的。通过充布气系统的设计，气体密度的变化率在溅射沉积区域内尽量小，而在区域外，系统的流导要尽量的大，以提高抽气系统的效率。